国家知识产权局信息显示，重庆芯联微电子有限公司取得一项名为“液体喷溅侦测装置及清洗设备”的专利，授权公告号CN223844227U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种液体喷溅侦测装置及清洗设备，液体喷溅侦测装置包括：侦测单元以及信号放大器；侦测单元设置于工艺腔室的侧壁上，并与工艺盘的高度相适配；侦测单元与信号放大器连通；其中，侦测单元包括导线层和覆盖层，覆盖层上设置有多个通孔，导线层于通孔处露出，液体喷溅至通孔中，并与导线层接触，以实现内锁回路的导通。如此配置，将侦测单元设置在工艺腔室的侧壁上，使得侦测单元能够在液体发生喷溅初期即可侦测到，提升了侦测单元的灵敏度；且覆盖层上设置有多个通孔，增加了喷溅的液体的附着与聚拢的能力；除此之外，侦测单元通过信号放大器与内锁回路连通，在液体发生喷溅时，生成报警信号，以提示操作人员，避免产品良率损失。
天眼查资料显示，bwin必赢官方授权平台重庆芯联微电子有限公司，成立于2023年，位于重庆市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本870000万人民币。通过天眼查大数据分析，重庆芯联微电子有限公司参与招投标项目935次，专利信息223条，此外企业还拥有行政许可12个。bwin必赢官方授权平台
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